半导体制造设备

半导体资本设备的电源和EMI/RF滤波器解决方案

天成达(昆山)电子有限公司是全球各种半导体设备应用的电源和EMI/RF滤波器解决方案的领先供应商。我们的工程师认识到需要具有精确输出规格和半导体行业特定标准(如符合SEMI F47)的高可靠性电源解决方案。

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半导体制造设备用电源

如果您需要半导体电源,请选择我们的团队作为您的组件和解决方案的可靠来源。天成达(昆山)电子有限公司提供各种优质AC/DC和DC/DC电源选项,范围从1瓦到500千瓦:

  • 开放式框架: 这种开关电源的开放式布局提供了充足的冷却。
  • 封闭式:我们的封闭式电源可保护您的电源免受各种因素的影响。
  • 封装型: 封装型选件与各种配置兼容,这些型号可保护组件免受灰尘、湿气和振动的影响。
  • 板载: 这些电源模块提供功率密度和易于制造。
  • 外部适配器: 我们的外部适配器和壁挂式适配器符合能源六级标准。
  • 机架安装:我们提供高达500千瓦的标准19英寸机架安装形式,以实现风冷或液冷功率。
  • 加固型和Hazloc: 我们的加固型型号能够承受极端环境,包括那些需要Hazoc和美国军事标准(MIL)标准认证解决方案的环境。
  • 底盘安装: 这些AC/DC型号是封装的,有医疗级、超小型和双输出等选项。

可扩展设计:敢达500KW

适用于半导体设备OEM的天成达(昆山)电子有限公司产品组合的功率范围为1瓦至500千瓦,电压高达+/-1200V。我们的电源模块可以并行或串行配置,以便在标准或工程机柜或机架中进行大规模系统扩展。

通过EtherCAT、以太网和CANBus等接口满足高速数字控制需求,从而可以轻松实现与主机系统的集成。

数十年来为半导体资本设备行业提供电源解决方案的经验和技术

  • 偏置/内务: 1W - 1200W
  • 高功率: 1200W - 500kW
  • 高可靠性: 加速应力测试
  • 工业交流输入: 三相380-480VAC,单相90V-275VAC,三相208VAC
  • 大输出范围: 5V至1200VDC,高精度电压和电流过程控制
  • 数字控制: EtherCAT、以太网、CANBus等,并行和串行系统配置用于更高的功率、电压和输出电流,热插拔用于快速维护,并改善正常运行时间。
  • 定制: 交流-交流开关电池备份集成、交流/直流配电的增值系统工程以及其他定制要求

关键任务半导体设备应用的理想电源包括:

  • 离子注入
  • 晶圆退火
  • 引线键合机
  • 模具接合器
  • 电子卡盘
  • 蚀刻
  • 后端芯片测试设备
  • 电子系统测试设备
  • 硬件仿真器
  • 高级包装
  • 金属有机气相沉积(MOCVD)
  • 化学机械平坦化(CMP)
  • 加热器

半导体设备用EMI和RF滤波器

电磁干扰(EMI)滤波器可防止设备发出杂散信号,使其进入电源线并影响外部设备。同时,滤波器允许低电平噪声通过,这是设备保持正常功能所必需的。如果没有可靠的EMI滤波器的适当保护,这种噪声会严重损坏设备。


天成达(昆山)电子有限公司提供了一系列现成的EMI滤波器解决方案。我们的内部工程和设计团队专家还将根据您的项目定制过滤器。我们的EMI滤波器产品组合从单相元件到工业级三相滤波器,具有2500安培和690伏的电压。滤波器相位之间的区别是衰减量或滤波器抑制噪声的强度。

在半导体工业中,射频干扰(RFI)滤波器经常出现在利用RFI产生热量熔化等离子体的装置上。过滤器防止RFI波从腔室泄漏。除了射频等离子体注入,晶片基座通常包括用于静电卡盘(“ESC”)的电极和加热元件。ESC电源通常在1-1.2kV范围内–正极性或负极性(有时两者兼有)。根据介电材料的电阻率(在高温下会变得更糟),ESC电源可能会泄漏到加热器电源。除非使用RF阻断滤波器,否则连接ESC和加热器电源的电缆将从腔室泄漏RF能量。天成达(昆山)电子有限公司与客户合作,提供各种频率(350kHz、13.56MHz、27.12MHz、40MHz)和阻抗范围的交钥匙RFI滤波器。


使用天成达(昆山)电子有限公司,您可以为半导体制造设备找到EMI或RFI滤波器,以确保设备提供理想的性能。

电源转换解决方案

专业人员通常将配电单元(PDU)描述为向系统中的多个设备供电的设备。根据您的应用程序和环境需要,这些机器具有多种功能。

交流配电箱是一种PDU,有助于确保系统免受浪涌、接地故障和交流中断的影响。这些设备还提供远程控制和监控、电路保护、紧急关闭(EMO)开关和联锁等功能。

 

半导体制造电源解决方案

天成达(昆山)电子有限公司可以为您提供用于任何工作的半导体电源、滤波器和PDU。我们在新泽西州、加利福尼亚州和中国拥有先进的制造中心,我们的设计和工程师团队可以为您的项目创建定制缺失件。

你需要一个你可以信任的公司。我们最先进的产品符合全球安全和EMI标准,我们的设施通过了ISO 9001和ISO 13485认证。天成达(昆山)电子有限公司工具也符合SEMI F47要求。

天成达(昆山)电子有限公司的解决方案还提供电源冗余选项。自信地操作,知道备用设备可以支撑负载,直到您的技术人员可以在一台设备出现故障时更换故障设备。这些电源解决方案可在含有污染物(如空气中的导电碎片)的环境中运行,以在恶劣的工作环境中保护您的电源。

您是否需要针对苛刻环境的强健电源解决方案?立即联系我们接收您项目的定制报价.

强健的电源技术

我们的产品适用于高度清洁的环境、高度污染的环境以及带有空气传导碎片的装置。我们强大的动力技术采用了多种冷却方法,包括风冷、密封/对流冷却和液体/水冷。